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擴散硅壓力變送器的遷移補償分析

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  壓力變送器的被測介質(zhì)的兩種壓力通入高、低兩壓力室,低壓室壓力采用大氣壓或真空,作用在δ元(即敏感元件)的兩側(cè)隔離膜片上,通過隔離片和元件內(nèi)的填充液傳送到測量膜片兩側(cè)。
  當擴散硅壓力變送器壓力信號作用于傳感器時,壓力傳感器將壓力信號轉(zhuǎn)換成電信號,經(jīng)差分放大和輸出放大器放大,zui后經(jīng)V/A電壓電流轉(zhuǎn)換成與被測介質(zhì)(液體)的液位壓力成線性對應(yīng)關(guān)系的4-20mA標準電流輸出信號。
  擴散硅壓力變送器是以壓阻式傳感器為檢測元件的一種壓力檢測儀表,其zui大的特點是動態(tài)響應(yīng)快,測量精度高,這也是許多其他方式的傳感器*的,但它畢竟是半導體材料,它要求傳感器的工作環(huán)境溫度相對穩(wěn)定,不應(yīng)波動范圍太大。
  由于其對大范圍溫度變化的敏感性,所以在制作時,采用四個阻值相等的擴散電阻,并連接成惠斯頓電橋式,實現(xiàn)硬件的溫度補償。但如果溫度變化較大,盡管擴散硅壓力變送器本身已進行硬件溫度補償,但在實際使用時,隨著環(huán)境溫度的較大變化,檢測精度也受到影響。所以在采用這類變送器時。為了進一步提高測量精度,可以采用零點遷移補償法,也就是在實際液位為0時變送器的輸出狀態(tài)。擴散硅壓力變送器的零點遷移量隨溫度的變化不是固定值,而是按一規(guī)律變化,為了提高檢測精度可以采用零點遷移隨溫度變化補償法。
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